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研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术,加工精度高,易于批量化生产.结构上采用对称的差动电容形式,并将其封装在专用基座中,适用于中、微压力的高精度测量,可用于目前通用压力传感器的升级产品.
硅电容压力传感器敏感器件的研究
【摘 要】
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研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术,加工精度高,易于批量化生产.结构上采用对称的差动电容形式,并将其封装在专用基座中,适用于中、微压力的高精度测量,可用于目
【机 构】
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沈阳仪表科学研究院,吉林化工集团公司仪表厂
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年11期
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