基于最小二乘法的大型平板平面度误差自动检定系统

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介绍了平板平面度误差的检测方法,研制了基于最小二乘法的大型平板平面度误差自动检定系统。详细阐述了系统结构、工作原理和平面度误差的最小二乘法评定过程,评定了测量结果的不确定度。实验对比结果显示了该系统的优势及其应用价值。
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