【摘 要】
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为研究多铁纳米纤维在压力传感器上的应用，基于多铁纳米纤维敏感材料，利用MEMS技术、静电纺丝技术，设计制作了一种压电式压力传感器。通过对单根纳米纤维压电特性的有限元分析，得
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为研究多铁纳米纤维在压力传感器上的应用，基于多铁纳米纤维敏感材料，利用MEMS技术、静电纺丝技术，设计制作了一种压电式压力传感器。通过对单根纳米纤维压电特性的有限元分析，得出纳米纤维直径越小，长度越大，即电极间距越大，纤维端电势越高，灵敏度越好。设计了传感器的结构尺寸和工艺过程，制作出了传感器样片。分析了在深硅刻蚀中掩蔽层保护出现的问题，提出了可行的工艺方法。
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