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基于微加工技术的微流体系统是微机电系统(MEMS)的一个重要分支,可广泛应用于航空航天、生物、医学、化工、电子等领域.本文主要综述了微流体系统中的微型泵结构、工作原理以及国内外研究现状.
基于MEMS的微泵研究进展
【摘 要】
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基于微加工技术的微流体系统是微机电系统(MEMS)的一个重要分支,可广泛应用于航空航天、生物、医学、化工、电子等领域.本文主要综述了微流体系统中的微型泵结构、工作原理以
【机 构】
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上海交通大学微米纳米技术研究院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年5期
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