【摘 要】
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采用基于广播总线的同步采样技术，提出6轴高精密XY工件台激光位移测量的同步测量架构．设计专门的同步动作控制器和同步信号总线，实现6轴激光位移测量系统的同步采样，提高了数据采
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院,广西大学机械工程学院
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采用基于广播总线的同步采样技术，提出6轴高精密XY工件台激光位移测量的同步测量架构．设计专门的同步动作控制器和同步信号总线，实现6轴激光位移测量系统的同步采样，提高了数据采样频率．结果表明：6个激光测量轴之间的同步采样时间误差最大为1．616ns，并由此引起的位移测量误差是0．808nm；在硬件读取数据方式下，6个激光测量轴最高采样频率可达640kHz．
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