有机半导体器件的真空镀膜技术

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huiyigng
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重点论述了在P-Si基底上通过真空沉积技术制备PTCDA/P-Si光电探测器的制备工艺和光电性能.所制备的PTCDA/P-SI有机光电探测器具有良好的稳定性及可靠性,总体性能高于进口的无机半导体光电探测器.
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