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通过对硅电光调制器研究结果的分析，提出了低功耗高速调制的新技术，即采用不均匀掺杂人为引进漂移场和限制注入载流子运动范围以提高其浓度等方法，达到高速低功耗调制的目的。
低功耗高速硅电光调制技术的研究
【摘 要】
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通过对硅电光调制器研究结果的分析，提出了低功耗高速调制的新技术，即采用不均匀掺杂人为引进漂移场和限制注入载流子运动范围以提高其浓度等方法，达到高速低功耗调制的目的。
【机 构】
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西安交通大学电子工程系
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1995年4期
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