【摘 要】
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随着科技的不断发展,信息处理效率的提高,微电子器件的尺寸越来越小,这使得微电子器件的可靠性问题逐渐凸显出来.微电子器件可靠性主要受四个方面的影响:栅氧化层、热载流子
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随着科技的不断发展,信息处理效率的提高,微电子器件的尺寸越来越小,这使得微电子器件的可靠性问题逐渐凸显出来.微电子器件可靠性主要受四个方面的影响:栅氧化层、热载流子、金属化、静电放电.通过对国内外现状的分析,主要介绍了影响微电子器件可靠性的四个主要因素及其产生原理,并提出了提高微电子器件可靠性的解决方案及措施.
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