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本文介绍了一种在生产非四分之一波长多层膜时监控膜厚的方法。除了监控信号的波长在每一层膜改变之外,这种方法类似于传统的极值法,并且不需要变更常用的仪器。文中用一个例子说明这种方法使用的效果。
用光学极值法监控非四分之一波长薄膜的厚度
【摘 要】
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本文介绍了一种在生产非四分之一波长多层膜时监控膜厚的方法。除了监控信号的波长在每一层膜改变之外,这种方法类似于传统的极值法,并且不需要变更常用的仪器。文中用一个例
【机 构】
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南京建筑工程学院图书馆;
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2004年期
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