【摘 要】
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扫描电声显微镜(SEAM)是融现代电子光学技术、电声技术、压电传感技术、弱信号检测和脉冲图像处理以及计算机技术为一体的一种新型无损分析和显微成像工具.其成像机理是基于
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,香港城市大学物理和材料系
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扫描电声显微镜(SEAM)是融现代电子光学技术、电声技术、压电传感技术、弱信号检测和脉冲图像处理以及计算机技术为一体的一种新型无损分析和显微成像工具.其成像机理是基于材料的微观热弹性能或者电学性能的变化,获取目前其他手段无法得到的信息.它可以原位(in situ)同时观察试样的二次电子像和电声像(SEAM),兼有声学显微术非破坏性内部成像和电子显微术高分辨率快速成像的特点.本文重点阐述扫描电声显微镜的工作原理、结构和组成、电声显微成像的特点,以及电声成像的基本理论和影响分辨率的主要因素.并显示了扫描电声显
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