定值法膜厚监控参数的确定

来源 :福建师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:KANTB
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定值法监控技术是制备对称周期膜系的有效方法,本文采用数值计算方法确定定值法膜厚监控参数,实验表明,此方法准确、可靠、方便。
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