NV10—80大束流注入机离子源电路原理分析及维修经验浅谈

来源 :微电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaoxie20092009

【摘要】

：

本文较为详细地分析了Eaton NV10-80大束流离子注入机离子源电路工作原理,包括ARC电压、灯丝电流、气源压力调节及固体源坩埚温度控制的电路工作原理,同时,又针对常见离子源

【作者】

：

陆锋

【机构】

：

无锡微电子科研中心

【出处】

：

微电子技术

【发表日期】

：

2002年4期

【关键词】

：

NV10-80大束流注入机离子源电路原理维修 ARC电源灯丝电流气源压力坩埚温度 ion source ARC voltage filament c

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文较为详细地分析了Eaton NV10-80大束流离子注入机离子源电路工作原理,包括ARC电压、灯丝电流、气源压力调节及固体源坩埚温度控制的电路工作原理,同时,又针对常见离子源故障解决作了剖析.由于Eaton NV10-80大束流离子注入机国内半导体厂家使用较为广泛,其它型号的离子注入机也可借鉴,本文有较高的实际指导意义.

其他文献

试论数学中的“规定性”

数学是关于空间形式和数量关系的科学,数学是关于模式和秩序的科学,数学区分于其它学科有三个明显特点:第一是它的抽象性,第二是它的精确性,第三是它的应用的极端广泛性,数学

期刊

中学数学学区抽象性数量关系几何科学学科空间形式直线精确性

单手性臂型脱氧胆酸分子裂缝对中性小分子的识别性能研究

利用紫外分光光度滴定法测定了新型分子裂缝1～6对于苯胺、对甲氧基苯胺、对硝基苯胺等中性小分子的识别性能.结果表明所有的主体均对考察的客体具有识别作用,形成1:1型的超分

期刊

单手性臂型脱氧胆酸分子裂缝分子识别紫外分光光度法超分子配合物核磁氢谱差紫外光谱法molecular recognition cholic acid

农村综合高中办学模式研究

我国高中阶段教育形成了单一普通高中与单一职业高中并行的双轨制教育体制。随着社会经济的快速发展，人们对接受高层次教育的愿望日益强烈，双轨制的高中教育结构在农村地区已造

学位

农村高中教育综合模式

中小学校内结构工资制运行模式研究

结构工资作为一种有别于单一工资的工资形式，其优点在于能够更好地发挥工资的激励功能。在我国中小学的分配制度改革过程中，实行校内结构工资制，是学校内部管理体制改革的重要内

学位

中小学结构工资薪点制薪等制以人为本

中国城镇化发展对生育水平的影响研究

本文应用因素分解法分析并估算中国城镇化历史和未来发展对生育水平的影响。研究表明,近30年来城镇化发展使全国总和生育率降低0.25,占生育率总体下降幅度的21%。在当前的低

期刊

城镇化生育水平生育政策因素分解法

中专英语阅读教学存在的问题及其对策

本研究阐明了中专英语阅读教学的目的，分析了中专英语阅读教学与中学英语阅读教学的不同，找到了中专英语阅读教学的特点，考察了中专学生英语阅读能力的学习现状，对学生所面临的问

学位

中专英语阅读教学问题及对策图式理论

急性心肌梗死(气虚痰瘀证)患者各证候要素分析及思考

目的通过对急性心肌梗死(气虚痰瘀证)患者进行单一证候要素分类,记录各患者临床资料,分析及讨论心梗证候分布特点。方法纳入2013年2月至2017年2月于心血管科住院治疗且辨证为

期刊

气虚痰瘀心肌梗死中医证候临床指标

试纺150D／40F无光粘胶长丝

介绍了150D／40F扁形粘胶长丝的试纺工艺，以及纺丝可纺性和成品物理指标情况。对试纺中出现的问题进行了分析。

期刊

无光粘胶长丝试纺工艺可纺性成品物理指标无光扁形丝纺丝工艺

NV10—80大束流注入机离子源电路原理分析及维修经验浅谈

与本文相关的学术论文