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300mm硅圆片生产线的组建从1998年至1999年开始，先建引导线，到2000年或晚一些再组建批量生产线。按照半导体前沿技术公司（SEI，ETE）送给半导体制造厂商的关于O300mm硅圆片生产线设备安装计划的调查表，3家公司确定在1998年组建引导线，6家公司在1999年或晚些时候组建。至于批量生产线，有2家公司在1999年第4季度建线，5家公司在2000年建线。总的来说，大多数厂商认为1998年至1999年建引导线，2000年或晚些时候建批量生产线，这与日本300mm半导体技术联合会（J300）的规划