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采用直流电弧等离子体蒸发－凝聚法制备了高纯氮化铝纳米粉末，粉末的平均晶粒度为５０ｎｍ，纯度大于９８％。借助Ｘ射线光电子能谱、化学分析和差热失重等测试手段，探索了ＡＩＮ纳米粉末的表面化学组成和氧化特性，研究结果表明，ＡＩＮ纳米粉末易吸湿氧化，大大降低了其纯度。ＡＩＮ纳米粉末表面的氧是以两种状态即物理吸附态和化合态存在。