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用平行光束掠射法（ＧＩＸＤ）测定了磁控溅射ＴｉＣ（Ａｌ基体）膜中的残余应力，比较了不同厚度的梯度过渡层对残余应力的影响。
梯度过渡层对TiC薄膜中残余应力影响的研究
【摘 要】
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用平行光束掠射法（ＧＩＸＤ）测定了磁控溅射ＴｉＣ（Ａｌ基体）膜中的残余应力，比较了不同厚度的梯度过渡层对残余应力的影响。
【出 处】
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上海交通大学学报
【发表日期】
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1995年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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