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从四类压电方程入手推导了六角晶系压电薄膜的FBAR横模的阻抗特性，分析了产生横模的原因，并基于此用ANYSYS进行了有限元仿真，分析了方形、三角形、圆形和五边形等电极形状对FBAR横模的影响，仿真结果与实际测量值接近，说明了分析方法的准确性．
电极形状对FBAR横模特性的影响
【摘 要】
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从四类压电方程入手推导了六角晶系压电薄膜的FBAR横模的阻抗特性，分析了产生横模的原因，并基于此用ANYSYS进行了有限元仿真，分析了方形、三角形、圆形和五边形等电极形状对FBAR
【机 构】
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浙江工商大学计算机科学与信息工程学院
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年05B期
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