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薄膜在损伤前后的图像中各象素灰度级变化很大，通过判定激光辐照前后两幅图像的相似程度可以比较客观地判别薄膜的损伤情况。选用基于差异图像直方图的相似性测度来判定两幅图像的相似程度。进而达到识别损伤的目的。实验证明，该方法不仅能识别重度损伤。而且对显微镜不易观察的损伤也能做到准确地识别。耗时短、精度高，可以在损伤阈值测试实验中对薄膜损伤进行在线实时检测。