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分析了超精密一维测量头对导轨的高灵敏度要求，论述了高灵敏度小型空气静压方导轨的制造方法。采用该方法制造出来的导轨可将导轨的摩擦力控制在５ｍｇ以内，导轨的直线性控制在１μｍ／１０ｍｍ内，这使得超精密一维测量头实现０．０５μｍ的测量精度成为可能。
高灵敏度微型空气静压支承方导轨的制造技术
【摘 要】
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分析了超精密一维测量头对导轨的高灵敏度要求，论述了高灵敏度小型空气静压方导轨的制造方法。采用该方法制造出来的导轨可将导轨的摩擦力控制在５ｍｇ以内，导轨的直线性控制在１μｍ／１０ｍｍ内，这
【机 构】
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北京兴华机械厂
【出 处】
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航天工艺
【发表日期】
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1997年3期
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