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基于谐振腔微扰法测量薄膜复电磁参数的基本原理，使用微波网络分析仪和谐振腔，利用虚拟仪器技术，开发了薄膜电磁参数自动测量系统．利用测试系统对FeCo基纳米膜进行了测试，分析了散射参数、信号源频率与Q值、样品超薄特性、热环境和实验操作等因素对测量结果产生的影响，并由此提出了改进谐振腔法的实验方案．提高了测量的精度，复磁导率测试误差低于6％，复介电常数测试误差低于4％．