激光用于LCD板ITO膜修复的研究

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuanjie119

【摘要】

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对激光修复LCD板ITO膜的过程及影响因素进行了理论分析和计算.设计并加工出一套激光聚焦系统,由一个用于扩束和压缩发散角的倒置开普勒望远镜和聚焦透镜组成,其聚焦光斑为15

【作者】

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宁继平李嘉鲁笑春李晓光姚建铨

【机构】

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天津大学精密仪器与光电子工程学院,国家教育部光电信息技术科学开放实验室

【出处】

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光电工程

【发表日期】

：

2003年2期

【关键词】

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激光修复透光导电膜激光聚焦系统 Focusing Lasers Lenses Q switching

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对激光修复LCD板ITO膜的过程及影响因素进行了理论分析和计算.设计并加工出一套激光聚焦系统,由一个用于扩束和压缩发散角的倒置开普勒望远镜和聚焦透镜组成,其聚焦光斑为15μm.优化了调Q基模Nd:YAG激光器的参数,并用其进行了实验研究.结果表明,能修复各种不同厚度的ITO膜,打的孔小于20μm,位置漂移量小于3μm.

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