【摘 要】
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本文就离子束外延的基本原理、发展概况、主要优点等作一般性的介绍;而就目前世界上所进行的各种离子束外延方法,诸如完全离化离子束外延(低能离子束外延)、部分离化离子束外
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本文就离子束外延的基本原理、发展概况、主要优点等作一般性的介绍;而就目前世界上所进行的各种离子束外延方法,诸如完全离化离子束外延(低能离子束外延)、部分离化离子束外延,射频反应离子束外延以及离化团束外延做比较详细的介绍。
In this paper, the basic principles, development and main advantages of ion beam epitaxy are briefly introduced. In the present, various ion beam epitaxy methods such as fully ionized ion beam epitaxy (LES) Partially ionized ion beam epitaxy, radio frequency ion beam epitaxy and ionization cluster epitaxy do more detailed introduction.
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