低能电子显微方法的新进展

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sanshn

【摘要】

：

本文综述入射电子在样品中的散射、二次电子的产生机制和低能电子逸出的能量阈值效应.在大能隙半导体或绝缘体中,低能电子的非弹性散射自由程显著大于金属,从而为纳米材料的

【作者】

：

孙霞丁泽军吴自勤

【机构】

：

中国科学技术大学天文与应用物理系

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

弹性散射非弹性散射二次电子能量阀值效应低电子显微术显微学非弹性散射自由程

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本文综述入射电子在样品中的散射、二次电子的产生机制和低能电子逸出的能量阈值效应.在大能隙半导体或绝缘体中,低能电子的非弹性散射自由程显著大于金属,从而为纳米材料的表征提供了条件.综述了低能电子显微术(LEEM)、低能电子投影显微术、弹道电子发射显微术(BEEM)、光发射电子显微术(PEEM)等低能电子显微方法,介绍了这些方法得到的许多结果.

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