顶面驱动可变电容静电微电机的优化设计

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针对顶面驱动可变电容式静电微电机的参数优化设计问题,建立了一般解析物理描述模型,并给出了优化问题的数学模型。在考虑电机结构尺寸和电机控制方法优化的同时,结合数值积分方法和遗传算法,提出一种简单高效的优化设计方法,并通过有限元分析对提出的方法进行了有效性验证,实现了静电微电机的快速优化设计。
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