【摘 要】
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<正> 一、绪言 4 J29合金(可伐)的膨胀系数与硼硅酸盐玻璃的膨胀系数非常接近,而被广泛应用于电真空和半导体工业作为重要的器件封接结构材料。近年来,电真空器件和半导体器
【机 构】
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上海元件五厂,上海元件五厂,上海元件五厂
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<正> 一、绪言 4 J29合金(可伐)的膨胀系数与硼硅酸盐玻璃的膨胀系数非常接近,而被广泛应用于电真空和半导体工业作为重要的器件封接结构材料。近年来,电真空器件和半导体器件不断向高性能,高可靠性,长寿命目标努力,对4 J29合金—玻璃封接件的真空气密性和封接强度提出更高的要求,如何提高合金的表面处理技术是封接方面的重要课题。 金属与玻璃的封接,实际上是将金属表
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