【摘 要】
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针对尺蠖型压电驱动器的输出特性，提出了利用驱动电压与输出位移分段线性拟合曲线，逐步“搜索”驱动电压值，从而逼近目标位置的闭环控制方法。分析了控制方法的可行性，针对该方法
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针对尺蠖型压电驱动器的输出特性，提出了利用驱动电压与输出位移分段线性拟合曲线，逐步“搜索”驱动电压值，从而逼近目标位置的闭环控制方法。分析了控制方法的可行性，针对该方法，构建了闭环控制实验系统，对该方法进行了实验验证。实验结果表明，采用该方法可以实现对尺蠖型压电驱动器的闭环精确控制，系统闭环定位误差低于0．18μrad，定位精度比开环工作提高了14．4％。该方法具有控制精度较高、响应迅速、易于实现等优点。
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