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提出了两种新型单片电容传感器结构，用ANSYS软件对不同参数的传感器进行了仿真，分析了被测物距离、电极间隙和电极厚度对传感器初始电容和灵敏度的影响，并通过实验对仿真结果进行了验证。结果表明，测量系统的灵敏度与电极间隙和被测物距离近似成反比，传感器初始电容值随电极结构复杂度提高而增大；电极厚度对电容值的影响非单调，存在最优值。