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真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔.简述了真空漏率校准装置的工作原理,讨论了使用中应注意的六个方面.
真空漏率校准装置的使用
【摘 要】
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真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔.简述了真空漏率校准装置的工作原理,讨论了使用中应注意的六个方面.
【机 构】
：
中国工程物理研究院电子工程研究所,绵阳,621900
【出 处】
：
计量技术
【发表日期】
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2017年1期
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