真空漏孔相关论文
为了解决漏率小于10-12Pam3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pam3/s量级的校准装置.装......
真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔.介绍了真空漏率校准装置的工作原理,技术方案,校准步骤及安全操作事项.......
采用差压式电容薄膜规定容法,通过测量压强差的变化减小环境温度波动的影响,实现了正压漏孔校准.该套装置校准范围为1×10～3×10Pa......
定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ～ 5× 10 ......
为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置......
比对法漏率校准装置是计量气体漏率的一种装置 ,可绝对法和相对法对真空漏孔进行校准。绝对法的校准范围为 10 - 4～ 10 - 9Pa· m3/......
针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10~(-6)Pa·m~3/s的标......
定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准,校准范围为(5×10-2～5×10-......
介绍了正压漏孔校准装置的不确定度评定。该装置是一种校准气体漏率的计量标准，可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校......
分流法校准真空漏孔是通过四极质谱计比较气体流量计分流后的实用标准气体流量与被校真空标准漏孔产生的离子流获得校准值。主要介......
介绍了校准正压漏孔漏率的动态比较法，可以校准的正压漏孔漏率范围为１×１０＾－４￣１×１０＾－７Ｐａ·ｍ＾３／ｓ。参考漏孔动态比较法是用一只漏率已知的正......
为了减小现场环境与校准环境的差异对真空漏孔校准的影响,通过理论研究,设计了现场真空漏孔校准装置,可实现对真空漏孔的现场校准......
为了精确校准较小漏率真空漏孔，研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中，通过调节稳压室中的压力，很容易使标准气体流量......
静态累积比较法校准真空漏孔是通过四极质谱计测量标准气体流量计与被校真空漏孔累积过程中离子流变化量而实现的。本文主要介绍了......
机构简介国防科技工业真空一级计量站是国家国防科技工业局许可的一级计呈技术机构,也是我国国防真空计量的最高技术机构,建在中国......
相对法校准真空漏孔是通过比较四极质谱计采集的电流值,根据已知标准漏孔漏率计算出被校真空漏孔漏率的一种方法。使用真空漏率校......
传统真空漏孔存在难以实现尺寸可控制作、分子流压力范围有限等问题,而利用微纳通道型真空漏孔可以有效解决上述问题。本文阐述了......
