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本文详细介绍了磁控管阴极碳化工艺，分析了碳化工艺的好坏对磁控管电子发射的影响；根据分析结果，对碳化工艺进行了改进，并对改进后新工艺的效果进行了验证。结果表明，工艺改进前碳化率波动范围相对较大，在9．50％-15．97％之间，工艺改进后为10．0％-12．3％，波动范围小，碳化率更稳定，一致性较好。