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文章重新推导了多层介质中的格林函数,解析地计算了格林函数的积分表达式,实现了一种能同时处理导电衬底和导体厚度的三维电容计算方法.由于使用了离散余弦变换等预处理方法,它比基于有限元和时域有限差分的算法的计算效率更高.在这些算法的基础上,实现了一个三维电容提取工具的原型,且得到了第三方工具的验证.
多层介质格林函数法求解导电衬底上的三维电容
【摘 要】
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文章重新推导了多层介质中的格林函数,解析地计算了格林函数的积分表达式,实现了一种能同时处理导电衬底和导体厚度的三维电容计算方法.由于使用了离散余弦变换等预处理方法,
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2005年1期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
其他文献
在SOI SRAM锁存器型灵敏放大器中，设计了一对小的下拉管，用来动态地释放交叉耦合反相器中N管上的体电荷。这种动态体放电的方法有效地解决了部分耗尽SOI CMOS器件体电位不匹配