三维电容相关论文
用MEMS技术在硅基片上制作了微波集成滤波器，并提出一种三维电容，该电容用MEMS的深槽刻蚀技术实现三维结构。该电容面积只有平面电容......
用ＭＥＭＳ技术在硅茯片上制作了微波集成滤波器，并提出一种三维电容，该电容用ＭＥＭＳ的深槽刻蚀技术实现三维结构。该电容面积只有平面电容的１／３。电感......
文章重新推导了多层介质中的格林函数,解析地计算了格林函数的积分表达式,实现了一种能同时处理导电衬底和导体厚度的三维电容计算......
针对电容发展所面临的电容密度、绝缘强度和高频特性等方面问题,利用兼具横向、纵向电通量的叉指电极结构提出一种新型三维电容。......
