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样品制备在电子显微学研究中至关重要,制备高质量的样品,是获得研究成果的关键之一.要获得高质量薄膜样品,除在离子减薄参数的合理选择和充分发挥减薄设备本身的技术水平外,还要重视样品在离子减薄前的机械预减薄,否则同样得不到高质量的薄膜样品.作者用美国Fischion公司生产的1010型离子减薄仪制备的薄膜样品,得到了理想的观察区域.