【摘 要】
：
基于激光刻蚀技术,提出了一种新型单晶金刚石微杯形谐振子的三维制造方法.由于高弹性模量、低热弹性阻尼以及较大的声波传递速度等优异的性质,单晶金刚石是一种理想的谐振子
【机 构】
：
国防科学技术大学机电工程与自动化学院
【基金项目】
：
National Nature Science Foundations of China
论文部分内容阅读
基于激光刻蚀技术,提出了一种新型单晶金刚石微杯形谐振子的三维制造方法.由于高弹性模量、低热弹性阻尼以及较大的声波传递速度等优异的性质,单晶金刚石是一种理想的谐振子加工材料,但是金刚石硬度大且化学性能稳定,难以采用传统的加工方法成形加工.激光刻蚀因精度高,加工结构对称性好以及破损率低等特点,是一种较好的单晶金刚石加工方法.采用紫外激光加工机,研究了不同激光参数对单晶金刚石刻蚀质量的影响,通过合理设计微杯形谐振结构,规划激光刻蚀加工的轨迹,采用优化后激光刻蚀参数,实现了结构对称性较好的微杯形谐振子的加工,有望应用于高性能微杯形谐振陀螺.
其他文献
绿色生态住宅是立足于节约能源和保护环境,力求自然、建筑和人三者间的和谐统一。利用自然条件和人工手段,努力创造一个生活环境优美、居住条件舒适、使人身心健康的小区,并
随着未来宽带、超宽带通信技术的发展，现有以传统奈奎斯特采样定理为基础的信号的采集、传输、存储和处理系统将面临严峻的挑战，模拟信息转换器（analog-to-information converto
针对自相似业务流量下的高突发性及重尾性所引起的空间数据系统调度性能下降问题，分析了高级在轨系统（advanced orbiting system，AOS）虚拟信道存取（virtual channel access，VCA）子层
研究部署与任务期间导弹武器系统可用性建模方法与仿真实验设计。阐述了可用性概念,明确了量化指标,构建建模与仿真(modeling and simulation,M&S)一体化框架,利用分层组合的
真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展,折叠波导慢波结构是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作用结构的尺度越小,加工误差的要求越严格.传
集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针,可以作为关键部件应用于三坐标测量机.NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成,柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形
光学光刻技术已广泛应用于微电子机械系统(MEMS)以及集成电路(IC)领域.由于光刻工艺设备的价格十分昂贵,因此利用光刻仿真这一技术来预期工艺结果并优化工艺中存在的问题就显
研究了不同脉冲次数强流脉冲电子束表面改性对CuFe10合金组织及性能的影响.强流脉冲电子束处理CuFe10合金的重熔表面出现了火山坑和直径为100 nm到1μm的富铁球,表明了强流脉
为了提高太赫兹行波管的输出功率,提出了多个传输信号进行功率合成的方法.首先,对D波段多注慢波结构进行设计及功分器的优化;然后,通过微铣削工艺完成了两注THz折叠波导结构
在片上光互连系统中,电光调制器起到将电信号调制为光信号的作用,是光互联系统中的核心部件之一.调制器的3 dB带宽决定着载波所能携带的最大信息量,是衡量调制器性能的核心参