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介绍了软光刻技术中的一项关键技术--微传递成模(μTM),阐述了其特点、不足及其基本的工艺流程.最后通过介绍其在加工Scottky二极管阵列和光波导耦合腔中的应用,说明μTM在微加工技术中具有广泛的应用前景.
μTM技术在MEMS工艺中的应用
【摘 要】
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介绍了软光刻技术中的一项关键技术--微传递成模(μTM),阐述了其特点、不足及其基本的工艺流程.最后通过介绍其在加工Scottky二极管阵列和光波导耦合腔中的应用,说明μTM在微
【机 构】
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重庆大学微系统研究中心生物MEMS研究室,重庆大学微系统研究中心生物MEMS研究室,重庆大学微系统研究中心生物MEMS研究室,生物力学及组织工程教育部重点实验室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年11期
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