【摘 要】
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在康宁玻璃衬底上用磁控溅射法制备CTO（CdSnO4）透明导电薄膜,再依次沉积CdS、CdTe、ZnTe∶Cu薄膜和背电极Au,重点研究蒸汽输运法沉积CdTe薄膜的质量和均匀性,采用光流明谱PL测
【基金项目】
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国家高技术研究发展(863)计划(2015AA050610)
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在康宁玻璃衬底上用磁控溅射法制备CTO（CdSnO4）透明导电薄膜,再依次沉积CdS、CdTe、ZnTe∶Cu薄膜和背电极Au,重点研究蒸汽输运法沉积CdTe薄膜的质量和均匀性,采用光流明谱PL测试CdTe薄膜内部的深/浅能级的信息,采用深能级瞬态谱DLTS和变幅电容分布DLCP技术表征了CdTe电池内部杂质能级的位置、俘获截面和密度。在此基础上,优化各层薄膜的制备参数,优化ZnTe∶Cu背接触层的退火工艺,获得转换效率为16.73%的0.5 cm2的碲化镉薄膜太阳电池。
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