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针对半导体制造行业中,光刻制造工艺所用到的各种光刻胶使用量不易准确预测的现状,提出一种准确预测需求的模型。通过对不同光刻工艺中光刻胶使用量的解析并结合主生产计划,预测出符合企业需求的不同光刻胶的需求量,精准用于采购。经过采用模型生成的数据进行检验,验证了模型的可行性和有效性。
光刻胶采购量精准预测模型的研究
【摘 要】
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针对半导体制造行业中,光刻制造工艺所用到的各种光刻胶使用量不易准确预测的现状,提出一种准确预测需求的模型。通过对不同光刻工艺中光刻胶使用量的解析并结合主生产计划,
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院
【出 处】
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北京工业职业技术学院学报
【发表日期】
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2013年04期
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