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介绍了纳米测量系统的组成以及纳米样板的研究现状.提出了两种制备纳米结构样板的方法:Si基底上的原子力显微镜(AFM)探针诱导阳极氧化工艺和Au膜上的AFM探针机械划刻工艺.最后对Si基底上制备的纳米结构样板进行了精度分析.
纳米测量及纳米样板
【摘 要】
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介绍了纳米测量系统的组成以及纳米样板的研究现状.提出了两种制备纳米结构样板的方法:Si基底上的原子力显微镜(AFM)探针诱导阳极氧化工艺和Au膜上的AFM探针机械划刻工艺.最
【机 构】
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西安交通大学精密工程研究所
【出 处】
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纳米技术与精密工程
【发表日期】
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2004年1期
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