【摘 要】
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微光机电系统（MOEMS）微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动
【机 构】
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成都信息工程大学通信工程学院,中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（11403029）, 中国科学院青年创新促进会资助项目（2014346）, 四川省科技创新苗子工程资助项目（2015064）, 成都信息工程大学科研基金项目（J201505）
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微光机电系统（MOEMS）微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环形静电排斥驱动器的MOEMS微镜,该静电排斥驱动器以环形排列,并围绕在镜面的周围,达到了与圆形镜面的良好匹配。所设计的微镜口径为204μm,并利用Poly MUMPS表面工艺进行加工。模拟仿真及实验测试结果显示,该微镜具有0.62°的最大旋转角,494μs的响应时间和
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