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报道了用等离子体辅助（Plasma-IAD）沉积技术镀制中心波长在1054nm的大口径（大于0.9m2）无漂移偏振膜，经高温高湿处理后，中心波长的漂移小于1nm。
等离子体辅助沉积大口径无漂移平板偏振膜
【摘 要】
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报道了用等离子体辅助（Plasma-IAD）沉积技术镀制中心波长在1054nm的大口径（大于0.9m2）无漂移偏振膜，经高温高湿处理后，中心波长的漂移小于1nm。
【机 构】
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四川大学西区物理所,成都精密光学工程研究中心
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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2001年4期
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