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在单晶硅生产过程中，对单晶硅提拉速度有十分严格的要求，针对实际情况，本文设计并分析了一种实用的、在极低转速下实现无级调速的控制系统。用该系统来控制提拉机械，具有结构简单、造价低的特点，实测表明，系统的性能满足生产要求，现已投入批量生产。
单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析
【摘 要】
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在单晶硅生产过程中，对单晶硅提拉速度有十分严格的要求，针对实际情况，本文设计并分析了一种实用的、在极低转速下实现无级调速的控制系统。用该系统来控制提拉机械，具有结构简单
【机 构】
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浙江工业大学
【出 处】
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微电机
【发表日期】
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2001年3期
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