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本文详细讨论了用微细加工技术制作Josephson结的过程以及影响其电学特性的各种因素,用湿法刻蚀技术制备了面积为4×4μm~2的Josephson结,并在4.4K闭循环制冷机上观察到了较为理想的Josephson效应。
超导Josephson结的制备及其特性研究
【摘 要】
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本文详细讨论了用微细加工技术制作Josephson结的过程以及影响其电学特性的各种因素,用湿法刻蚀技术制备了面积为4×4μm~2的Josephson结,并在4.4K闭循环制冷机上观察到
【机 构】
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合肥工业大学应用物理系合肥市230009
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1993年3期
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