【摘 要】
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准确了解微／纳米特征尺度条件下材料的力学性能是MEMS／NEMS（micro／nano electro-mechanical system）材料实际应用的一个关键前提条件。文中研究基于纳米压入技术的新型MEMS／NEMS材
【机 构】
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机械制造系统工程国家重点实验室,西安交通大学精密工程研究所,西安交通大学机械工程学院
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准确了解微／纳米特征尺度条件下材料的力学性能是MEMS／NEMS（micro／nano electro-mechanical system）材料实际应用的一个关键前提条件。文中研究基于纳米压入技术的新型MEMS／NEMS材料力学行为的表征方法，包括高聚物、一维结构纳米材料和形状记忆合金等。研究结果表明，纳米压入技术是评定这些新型MEMS／NEMS材料力学性能的有力工具，并可作为有效的实验手段，揭示力学行为与其依存诸因素之间的内在关联。
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