【摘 要】
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BaTiO3薄膜的铁电性通常会受到界面效应的影响而衰减.提出了使用Ta2O5作为隔离层能够有效抑制界面效应.利用脉冲激光沉积技术,在(100)晶向的SrTiO3衬底上成功制备了BaTiO3/Ta
【机 构】
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贵州大学电子信息学院,贵阳550025;贵州大学贵州省电子功能复合材料特色重点实验室,贵阳550025;贵州大学贵州省电子功能复合材料特色重点实验室,贵阳,550025
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BaTiO3薄膜的铁电性通常会受到界面效应的影响而衰减.提出了使用Ta2O5作为隔离层能够有效抑制界面效应.利用脉冲激光沉积技术,在(100)晶向的SrTiO3衬底上成功制备了BaTiO3/Ta2O5/SrRuO3三层复合薄膜结构.样品的XRD结果表明所得到的薄膜为四角结构的BaTiO3,样品的三层膜结构能够在场发射扫描电镜(FESEM)中清楚观察到.实验所测的电滞回线表明该三层BaTiO3/Ta2O5/SrRuO3薄膜的饱和极化强度、剩余极化强度和矫顽电压分别是58.7 μC/cm2,20.6 μC/cm2,20.3 V.与两层的BaTiO3/SrRuO3薄膜相比,该BaTiO3/Ta2O5/SrRuO3三层复合薄膜能够表现出更加优异的铁电性.因而,提供了一个能使BaTiO3薄膜的集成变得简单可行的方法,并且可以用作提升相关铁电器件的性能.
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