【摘 要】
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采用超声雾化技术，以醋酸锌水溶液为前驱体溶液，在加热的玻璃衬底上制备得到ZnO薄膜。研究了不同前驱体溶液浓度和不同加热温度条件下制得的ZnO薄膜的微观结构和光学性能。测试
【机 构】
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浙江大学材化学院材料系硅材料国家重点实验室
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（863计划）资助项目（2001AA320202）
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采用超声雾化技术，以醋酸锌水溶液为前驱体溶液，在加热的玻璃衬底上制备得到ZnO薄膜。研究了不同前驱体溶液浓度和不同加热温度条件下制得的ZnO薄膜的微观结构和光学性能。测试结果表明，ZnO薄膜为六角纤锌矿结构，在合适的条件下可以制备出沿（002）晶面取向生长的样品，具有优良的均匀性和致密性。同时在可见光区也表现出80％以上的高透过率。
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