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激光干涉测量以其测量范围大，高分辨率以及高精度测量等特点普及到很多高精度测量的行业中。随着测量精度和分辨率的提高，测量过程中的任何误差都将对最终的测量结果造成一定程度上的影响。通过介绍了激光干涉测量中一些常见的误差，并通过对这些误差的分析，来降低或修正误差，使我们的测量结果能更精确可靠。
浅谈双频激光干涉测量系统中的常见误差
【摘 要】
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激光干涉测量以其测量范围大，高分辨率以及高精度测量等特点普及到很多高精度测量的行业中。随着测量精度和分辨率的提高，测量过程中的任何误差都将对最终的测量结果造成一定程
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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山东工业技术
【发表日期】
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2016年14期
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