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本文着重对缝隙天线阵面的光刻技术进行了分析,对光刻技术方法研制缝隙天线阵面的技术途径、工艺实验的结果和存在的主要问题进行了论述.毫米波主动导引头缝隙天线阵面,具有面积大、缝隙多、精度高的特点,制造这样的缝隙天线阵面,在国内尚属首次.
光刻技术的超常领域
【摘 要】
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本文着重对缝隙天线阵面的光刻技术进行了分析,对光刻技术方法研制缝隙天线阵面的技术途径、工艺实验的结果和存在的主要问题进行了论述.毫米波主动导引头缝隙天线阵面,具有
【出 处】
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九江职业技术学院学报
【发表日期】
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2001年2期
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