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<正> 用氮化钛反应磁控溅射方法处理SIS-2140硬化工具钢表面;。研究了基体沉积温度对界面化学成分、氮化钛膜和基体的硬度及其附着力的影响。化学成分的分析采用了俄歇电子能谱、辉光放电光谱(GDOS)和电子探针显微分析方法;附着力和硬度的测量
论文摘要
【摘 要】
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<正> 用氮化钛反应磁控溅射方法处理SIS-2140硬化工具钢表面;。研究了基体沉积温度对界面化学成分、氮化钛膜和基体的硬度及其附着力的影响。化学成分的分析采用了俄歇电子能
【出 处】
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表面工程
【发表日期】
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1991年4期
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