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激光剪切干涉用于在线表面测量的特性分析
激光剪切干涉用于在线表面测量的特性分析
来源 :激光技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:KOUHUIKING
【摘 要】
:
为探讨和证明双折射晶体激光剪切干涉仪用于在线表面精密测量的可能性,推导了该干涉仪中光传输和实现表面测量的模型,分析了其抗振特性,模拟了相当的振动条件对其抗振特性进行实
【作 者】
:
刘晓军
高咏生
【机 构】
:
华中科技大学机械科学与工程学院,香港科技大学机械工程系
【出 处】
:
激光技术
【发表日期】
:
2006年4期
【关键词】
:
仪器测量与计量
剪切干涉
在线
分析
instrumentation measurement and metrology
shear interference
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为探讨和证明双折射晶体激光剪切干涉仪用于在线表面精密测量的可能性,推导了该干涉仪中光传输和实现表面测量的模型,分析了其抗振特性,模拟了相当的振动条件对其抗振特性进行实验测试。分析和实验证明了该干涉仪具有良好的抗振能力,适合应用于在线表面精密测量。
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