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简述等离子体的物理概念及其获得方法.重点介绍等离子体技术在材料领域中的表面改性,并论述了PCVD法涂Si的原理及动力学和热力学问题.
等离子体技术在材料中的应用
【摘 要】
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简述等离子体的物理概念及其获得方法.重点介绍等离子体技术在材料领域中的表面改性,并论述了PCVD法涂Si的原理及动力学和热力学问题.
【机 构】
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武汉科技大学材料与冶金学院
【出 处】
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武汉科技大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2001年4期
【基金项目】
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湖北省自然科学基金
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