磁透镜对XPS分析测试的影响

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在X射线光电子能谱(XPS)分析测试中使用不同的X射线源作为激发源时,磁透镜的使用对于XPS的光电子计数率和光电子接收面积会产生不同的影响。同时,除了光电子计数率和光电子接收面积外,磁透镜的使用对于导电样品的XPS分析测试没有明显影响。但在对绝缘样品进行XPS分析测试时,磁透镜的使用决定了绝缘样品表面荷电中和的方式。
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